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詳細(xì)介紹

檢查大尺寸樣品–滿足自動化潔凈室的要求

高性能、高性價比

可靠的結(jié)果

數(shù)字集成

它具有優(yōu)異的可用性和先進(jìn)的自動化功能，是要求日常任務(wù)的理想選擇。相比起更先進(jìn)的光學(xué)顯微鏡，它兼顧強(qiáng)大的性能與經(jīng)濟(jì)的價格。

使用帶編碼的組件和先進(jìn)的光學(xué)技術(shù)，Axioscope 提供可靠的，可再現(xiàn)的結(jié)果。此外，自動化的Axioscope7 能夠使您的工作流程*自動化-所以它能很快成為實(shí)驗(yàn)室的得力助手。

靠著Axiocam系列相機(jī)和ZEN 2 core成像系統(tǒng)，Axioscope成為一個強(qiáng)大的數(shù)字文檔系統(tǒng)。從設(shè)備控制-到圖像采集、分析以及儲存您的分析數(shù)據(jù)，Axioscope提供了一個*數(shù)字化的工作流程。

一、德國進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測設(shè)備的應(yīng)用：

從尺寸極小的MEMS傳感器到大尺寸晶圓，甚至整個平板顯示器，檢測期間不會對樣品造成破壞。Axio Imager Vario支持的最大樣品高度為254 mm，最大橫向樣品空間為300 mm，大大拓展了可以測試的樣品范圍。機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了良好的穩(wěn)定性?？蓾M足在潔凈室內(nèi)檢測晶圓的應(yīng)用要求。利用驅(qū)動Z軸的電動馬達(dá)與自動聚焦硬件確保自動調(diào)整至理想的聚焦位置。

二、德國進(jìn)口晶圓光學(xué)檢測設(shè)備的特點(diǎn)：

（1）具有兩種手動機(jī)柱和一種電動機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡的最大橫向樣品空間300 mm x 300 mm和最大樣品高度254 mm的優(yōu)勢。

（2）Axio Imager Vario能通過物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動來聚焦樣品。這意味著即便是較重的樣品，依然可以獲得高聚焦精度和可重復(fù)性。

（3）借助硬件自動對焦功能，可以精準(zhǔn)快速地聚焦低對比度的反射樣品。

（4）將Axio Imager Vario與LSM 900結(jié)合使用，能夠以高分辨率無接觸地分析敏感樣品。

（5）Axio Imager Vario已通過DIN EN ISO 14644-1認(rèn)證，并滿足5級潔凈室的應(yīng)用要求。

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