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功能
特點
Options
|
項目: | 規(guī)格參數(shù) |
芯片尺寸: | 0.5×0.5∽20×20 毫米 Option: 12英寸 |
芯片厚度: | ≥100μm;Option:≥20μm |
分揀速度: | ≤ 1.8s/chip at 2x2mm Die |
放置精度: | ≤ ±0.05mm/≤ ±0.5° Option:≤ ±0.025mm |
wafer 尺寸: | 4、6、8inch Option:12inch |
放置區(qū)容量: | 2[inch]8枚,4[inch]2枚 |
設備尺寸: | 1280(W)x850(D)x1650(H) mm |
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