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簡要描述:晶圓 2D/3D AOI 檢驗顯微鏡進料的wafer,經(jīng)過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,進行檢查和分選。操作員不接觸wafer,避免了污染和損傷wafer。
詳細介紹
進料的wafer,經(jīng)過正反面目檢和顯微鏡正面micro檢查,進行檢查和分選。操作員不接觸wafer,避免了污染和損傷wafer。 |
晶圓 2D/3D AOI 檢驗顯微鏡性能描述:
標準配備1個Load port,單臂翻轉(zhuǎn)Robot,Pre-aligner,目檢臺和顯微鏡。
兼容8寸和12寸wafer。
標準load port可以對應(yīng)FOUP,AutoFOSB自動開蓋,具備mapping功能。
高精度運動機構(gòu),低噪音,低塵,無需供油。
觸摸屏操作,界面友好。
晶圓 2D/3D AOI 檢驗顯微鏡對應(yīng)GEM300,采用SEMI標準軟件。
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